グローブボックス

太陽電池用シングル/ダブルステーション操作グローブボックス（精製・層流システム付）

商品番号 : ST09

価格は以下に基づいて変動します仕様とカスタマイズ

水分および酸素純度レベル: < 0.1 ppm
不活性ガス循環流量: 90 m³/h (可変周波数駆動)
クリーンルーム濾過基準: ISO 4 / クラス10 (0.2–0.45 m/s 層流)

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製品概要

Solar Cell Single and Double Station Operation Glovebox with Purification and Laminar Flow System 1

Product image 1

この高性能マルチワークステーション・グローブボックスシステムは、独立したダブルステーションユニットとシングルステーションユニットを、設計された大小のT型トランスファーチャンバーで接続したものです。片側操作用に設計されており、クローズドループガス精製カラムに支えられた、中断のない気密処理環境を提供します。標準的な動作パラメータ下で水分および酸素濃度を0.1 ppm以下に維持することで、感度の高い合成や組み立てワークフローに不可欠な、超クリーンな不活性窒素またはアルゴン雰囲気を提供します。

次世代太陽電池製造、ペロブスカイト研究、有機光起電力（OPV）、薄膜堆積、リチウム電池のプロトタイプ作成に特化して設計されており、大気汚染のリスクなしに複雑な多段階プロセスをサポートします。構造レイアウトは、チャンバーの凹型側面に直接統合された真空堆積または熱蒸着インターフェースに対応しており、外気にさらすことなく、コーティングから組み立て段階までのスムーズな基板転送が可能です。

厚手の304ステンレス鋼、精密加工されたフランジビューポート、自動PLC監視システムで構築されており、優れた動作安定性と極めて低いリーク率を実現しています。高効率粒子空気ろ過、動的チャンバー圧力調整、統合型クローズドループ冷却の組み合わせにより、要求の厳しい継続的な研究やパイロット規模の産業製造においてもプロセスの一貫性を保証します。

主な特長

デュアルチャンバー相互接続アーキテクチャ: 1800mmのダブルステーションチャンバーと1220mmのシングルステーションチャンバーを高真空T型トランスファーチャンバーで接続。双方向の基板転送と、コーティング、組み立て、テストのための専門的なゾーニングが可能です。
超高純度ガス精製ユニット: 5kgの銅触媒と5kgのモレキュラーシーブを充填したシングルカラム精製システムにより、高い除去能力（O2 60L、H2O 2kg）を実現し、ベースラインの不純物を0.1 ppm以下に確実に維持します。
統合型蒸着システムインターフェース: 左側のチャンバーには、標準的な熱蒸着または薄膜コーティングシステムを不活性ワークスペースに直接取り付けるための、専用の内部凹部と真空インターフェースを備えています。
ISO 4ダウンフロー層流ろ過: 上部に取り付けられたクリーンルームろ過ユニットは、H13～U15 HEPA/ULPAフィルターと調整可能なブロワー（面風速0.2～0.45 m/s）を使用し、継続的な差圧監視のもとで米国連邦規格209Eクラス10の無塵層流条件を提供します。
独立型統合冷却システム: 1050Wのクローズドループ冷凍ユニットを内蔵し、床置き型のスプリットロータリーコンプレッサーが機械的振動を遮断。グローブボックス内部温度を15°C～36°Cの範囲で1°C単位の精度で制御します。
高精度マルチポート・アンテチャンバー: 3ドア垂直リフト機構を備えた自動大型T型チャンバー、手動小型T型チャンバー、および接続されたモジュールを汚染することなく迅速に材料を導入できる外部ミニ・アンテチャンバーが含まれています。
インテリジェントなSiemens PLC自動化: 高解像度タッチスクリーンインターフェースにより、自動再生サイクル、自動パージルーチン、チャンバー圧力バランス（動作範囲±15 mbar、自動保護±16 mbar）、リアルタイムデータロギングを管理します。
オンライン分析計装: 超高感度アルミナセラミック薄膜水分センサーと、0.1 ppmの分解能および0～1000 ppm範囲でプログラム可能なリミットアラームを備えた電気化学式酸素分析計を装備しています。
溶媒蒸気吸着: 電解液の取り扱いやスピンコーティング中に発生する有害な揮発性有機化合物（VOC）をキャッチするクイックチェンジ式有機溶媒蒸気トラップにより、触媒精製床を保護します。
気密構造と人間工学: 3mmのブラッシュド304ステンレス鋼、8mmの強化安全ガラス傾斜ビューウィンドウ、一体型機械加工シールフランジ、アルミニウム製グローブポート、および疲労を軽減するプレミアム32インチブチルグローブで構成されています。

用途

用途	説明	主な利点
ペロブスカイトおよび有機太陽電池	水分・酸素に敏感なハロゲン化ペロブスカイト前駆体溶液の合成、基板スピンコーティング、セルパッケージング。	ISO 4無塵層流条件下でH2OとO2を0.1 ppm以下に保ち、有機-無機ペロブスカイト層の急速な劣化を防ぎます。
統合型真空熱蒸着	凹型チャンバーポートを介して、準備ステーションから取り付けられた熱コーターへパターン化基板を直接シームレスに転送。	金属電極（Ag/Al/Au）および電荷輸送層の堆積工程において、大気暴露を排除します。
全固体電池の組み立て	リチウム金属アノード、硫化物系固体電解質の取り扱い、および気密セルクリンピング。	反応性の高い固体電解質粉末の加水分解を抑制し、低水分環境を維持しながら有毒ガスの発生を防ぎます。
有機EL（OLED）	発光ポリマーの配合、低分子インクの調製、および封止プロセス。	粒子欠陥や微量の大気酸化物を含まない超クリーンな環境を維持し、デバイスの動作寿命を延ばします。
先端半導体および薄膜研究開発	2D遷移金属ダイカルコゲナイド（TMD）、量子ドット、反応性有機金属化合物の処理。	振動減衰された熱安定化（15～36°C）と、分離されたワークステーション間での迅速な材料転送を実現します。
空気に敏感な化学合成	自然発火性触媒、金属アルキル、水分硬化性樹脂の取り扱い、計量、保管。	自動チャンバー圧力制御、クイックチェンジ式溶媒トラップ、フェイルセーフインターロックにより、作業者の安全と製品の完全性を確保します。

技術仕様

システムカテゴリ	パラメータ	仕様 (ST09)
モデル識別子	システム名称	ST09
大気純度	水分 (H2O) ベースライン	< 0.1 ppm (20°C, 1気圧, 99.999%不活性ガス供給時)
	酸素 (O2) ベースライン	< 0.1 ppm (20°C, 1気圧, 99.999%不活性ガス供給時)
	全体リーク率	≤ 0.001 vol%/h
メインチャンバー寸法	ステーション1 (ダブル) 公称サイズ	1800 mm (L) × 750 mm (D) × 900 mm (H)
	ステーション2 (シングル) 公称サイズ	1220 mm (L) × 750 mm (D) × 900 mm (H)
	チャンバー壁材質・厚さ	SUS304ステンレス鋼、厚さ3.0 mm
	チャンバー表面仕上げ	内部：ブラッシュ仕上げ、外部：白色塗装
	真空コーター統合	専用蒸着装置取り付けインターフェースを備えた左側凹型チャンバー形状
ビューウィンドウ・グローブ	フロントウィンドウ構造	フランジ一体型フレーム、Oリング真空シール、8mm強化安全ガラス、傾斜角
	グローブポート	二重Oリングシール溝付き高整合性アルミニウム合金
	グローブ仕様	ヘビーデューティ・ブチルゴム、直径：8インチ（203mm）、長さ：32インチ（812mm）
	内部ワークスペース収納	統合型3段調整式SUS304ステンレス製シェルフユニット
	照明・フィードスルー	上部LED照明アレイ、複数のDN 40 KFブランクポート、内部220V電源×1
ガス精製システム	精製カラム構成	シングルカラム精製ユニット、気密SUS304ステンレス製ケーシング
	使用ガス適合性	高純度窒素 (N2) / アルゴン (Ar)
	精製材充填量	5kg 銅触媒（脱酸素）+ 5kg モレキュラーシーブ（水分吸着）
	総精製能力	酸素除去：60L、水分除去：2000g (2kg)
	循環ブロワー流量	可変周波数駆動 (VFD) 付き90 m³/h統合ブロワー
	カラム再生制御	全自動PLCルーチン、再生ガス：使用ガス + 5–10% H2混合ガス
	溶媒蒸気精製	高効率クイックチェンジ式有機溶媒蒸気吸着トラップ
粒子・清浄度制御	クリーンルーム清浄度評価	クラス10 (US FED STD 209E) / ISO 4 (ISO 14644-1)
	ろ過メディアグレード	HEPA H13～ULPA U15高効率ダウンフローろ過システム
	層流速度	調整可能なブロワー制御により0.2 m/s～0.45 m/sの間で制御
	差圧監視	フィルター交換時期を判断するためのアナログ差圧計
温度制御システム	冷却メカニズム	スプリット床置き型ロータリーコンプレッサー付き統合型超クリーン熱交換器
	温度設定範囲	15°C～36°C (連続クローズドループPID制御)
	温度表示精度	1°C
	定格冷却能力・電力	冷却能力：1050W、消費電力：640W
大型T型アンテチャンバー	チャンバー寸法	直径：360 mm、長さ：700 mm (SUS304ステンレス鋼)
	ドア構成	垂直機械式リフト機構付き陽極酸化アルミニウムドア×3 (厚さ10mm)
	操作・トレイ	タッチスクリーン駆動の自動電磁弁、スライド式SUS304ステンレス製トレイ
	機能	両チャンバーを連結、左から右および中央から側面へのバッチ転送をサポート
小型T型アンテチャンバー	チャンバー寸法	直径：150 mm、長さ：300 mm (グローブボックス内に100mm突出)
	ドア構成	クイックアクション・コンプレッションクランプ付きSUS304ドア×3
	操作・トレイ	手動ボールバルブ、固定式SUS304ステンレス製トレイ、アナログ真空計
	機能	小型ツール、るつぼ、基板キャリアのチャンバー間双方向転送
標準ミニ・アンテチャンバー	チャンバー寸法	直径：150 mm、長さ：300 mm (グローブボックス内に100mm突出)
	ドア構成・制御	デュアル・ブルー・クランプ・ロックドア、手動バルブ操作、アナログ真空計
真空システム・バルブ	ロータリーベーン真空ポンプ	排気速度12 m³/h、到達真空度≤ 2×10⁻¹ Pa、オイルミストフィルターおよびガスバラスト付
	アングルバルブ・マニホールド	DN 40 KF電磁空圧式メインアングルバルブ、6バルブ統合SUS電磁マニホールド
PLC・計装	コントローラー・インターフェース	カラータッチスクリーン付きSiemens PLC、パスワード保護、停電時自動再起動
	圧力調整	動作設定値は±15 mbar内で自由に調整可能、±16 mbarで自動安全停止
	オペレーター用フットスイッチ	ハンズフリーでチャンバー圧力を調整するための双方向フットペダル
	水分センサー仕様	アルミナセラミック薄膜プローブ、範囲：0–1000 ppm、精度：0.1 ppm
	酸素センサー仕様	電気化学式燃料電池プローブ、範囲：0–1000 ppm、精度：0.1 ppm

本製品を選ぶ理由

設計されたワークフローの連続性: 多ドアT型アンテチャンバーで連結されたデュアル/シングルステーションチャンバーの特殊な組み合わせにより、化学準備、溶媒取り扱い、感度の高い熱コーティングを単一の統合フットプリント内で分離し、プロセスを明確に切り分けることができます。
妥協のない大気の完全性: 高品位3mmステンレス鋼構造、精密Oリングフランジ加工されたビューポート、自動バルブマニホールドにより、≤0.001 vol%/hの極めて低いリーク率を実現。継続的なマルチユーザー操作時でも0.1 ppm以下の水分・酸素ベースラインを保証します。
統合された微気候と清浄度: 標準的なグローブボックスとは異なり、ISO 4層流ダウンフローシステムと1050Wの防振冷凍ユニットを統合しており、感度の高い基板処理中の浮遊粒子による欠陥や熱対流による変動の両方を防ぎます。
薄膜コーターとの直接互換性: 工場加工された左側の凹部と標準化された真空フランジにより、サードパーティによる改造が不要。熱蒸着装置やマグネトロンスパッタリングユニットを直接ドッキングし、シームレスな真空転送が可能です。
インテリジェントな診断とトレーサビリティ: Siemensベースの自動再生、ガスパージ制御、リアルタイムのセンサーデータロギング、プログラム可能なリミットアラームにより、プロセスの完全な再現性と、学術および産業品質基準への容易な準拠を保証します。

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